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气动与压电技术一起飞跃

来源:https://press.festo.com/zh-CN/node/4679 发布时间:2024-02-26 点击次数:
第一个高精度比例阀端子VTEP开辟了新的应用领域

受控气动是Festo的革命性压缩空气技术,为气动开辟了新的视角。多亏了这项技术,紧凑型比例阀端子VTEP的压力控制非常灵敏,低至1毫巴以下。这非常适合生命科学中的晶圆抛光或贴片夹紧等应用。此外,受控气动使用高精度压电阀,将压缩空气消耗量减少高达50%。

VTEP是市场上第一个比例阀端子,提供高精度、快速响应时间和动态控制。这加快了生产速度,同时确保了制成品的质量更高。这就是Festo如何使机器和系统更快、更精确,并帮助电子和半导体行业、纺织制造、电池生产和生命科学等获得决定性的竞争优势。

 

压力还是真空?两者都有!

VTEP宽度小于120毫米,是市场上最紧凑的比例阀端子,用于压力控制,有10个工作通道。有三个版本,2路、3路和5路,都可以轻松地集成到多通道应用程序中。压力和真空可以在6巴的控制范围内结合使用。

 

直接控制的VTEP使用压电技术,加上适当的控制技术,使气动极其精确、快速和经济。这提供了额外的好处:阀门安静,无磨损,没有颗粒磨损,也不会产生任何热量。阀门端子也不含铜、镍和锌,非常适合电池生产和其他这些材料具有破坏性的工业领域。

 

晶圆、电池等

在晶圆生产过程中,抛光装置上单个抛光室的可变接触压力由VTEP使用受控气动装置非常精确地控制。均匀的压力保证了整个加工表面的出色效果,即使在抛光精细晶圆时也是如此。VTEP型阀门端子也可以用作介质阀的先导阀。例如,在光刻中,必须将耐光层精确地应用于晶圆。VTEP控制的吸回功能确保多余的油漆不会逸出。

 

比例阀端子VTEP也适用于卷筒纸控制的许多应用,例如电池箔的生产。VTEP几乎实时通信,阀门以闪电般的速度做出反应。完美的定时保证了在发生意外力时显著提高过程可靠性。

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